PFLOW气体质量流量传感器

PEWATRON推出基于MEMS的新型气体质量流量传感器PFLOW 。该传感器采用了MEMS技术和微电子学的最新创新技术，其特点是具有极高的抗堵塞和抗压力波动能力。创新的MEMS技术实现了隔热，没有脆弱的薄膜或表面凹陷。该传感器还对低气流具有很高的灵敏度。因此，它完全适用于医疗和其他要求严格的加工行业的应用。

该传感器芯片由两个热电堆组成，对称放置在加热热焊点上加热元件的每个流动方向（上下）。为了确保最大的灵敏度，每个热电堆由20个串行排列的热传感器组成。当气流通过传感器芯片时，热电堆产生输出电压，由于塞贝克效应，该电压与冷热接触点之间的温度梯度成正比（不对称）。如果介质是静止的（没有空气流动），则温度曲线在两个方向上（向上和向下）都是对称的。

根据客户要求，提供了0-10 SCCM和0-2000 SCCM之间的五个标准测量范围以及10和2000 SCCM之间的特定范围。 PFLOW的精度超过+/-2.0%FS，温度补偿模拟输出(0-50°C)也与气流高度线性。模拟量输出电压在1-5VDC之间，传感器耐水凝。其响应时间也很短，只有1-3毫秒。