超低压传感器 0 .. 25 Pa

使用微结构将热质量流量测量以小型化的形式集成到尺寸仅为 2 x 2 mm² 的硅芯片中。
AMSYS LDE/LME/LMI 传感器的高灵敏度与良好的过压性能相结合，使其成为测量体积流量的理想选择。 这些传感器主要用于医疗技术以及通风和空调技术。 出于效率的考虑，体积流量测量所需的障碍物应尽可能小，由于低压降，这对差压传感器提出了更高的要求 - 这是 AMSYS 新型 Micro-Flow 超低压传感器的理想要求。
热质量流量测量的功能原理基于加热元件，该加热元件加热两个压力端口之间的小开口中的气体。 由于压力差，连接通道中由于气流而形成不对称的温度梯度。 这是通过加热元件两侧的温度传感器检测到的，并转换成线性压差信号。

质量流量测量的优点是其对最小压力差的极高灵敏度。 这样可以实现 0 .. 25 Pa 或 +/-25 Pa 的测量范围，并具有高达 2 bar 的高耐压能力。 该解决方案通过硅芯片中的微小微结构连接通道最大限度地减少不必要的流动，其中气动阻抗升至约 200 kPa/(ml/s)。 这意味着与同类传感器相比，其性能提高了 1000 倍，使得 AMSYS 超低压传感器能够抵御灰尘和长软管的干扰。
LME/LMI 传感器的非常小的 SMD 外壳经过优化，可直接安装在阀门组件中（歧管安装）。 另外，对于 LDE 系列，还提供带有用于 SMD 或 DIP 组件的软管连接的版本。
16 位 I²C（LMI 系列）或 SPI 和 0.5 .. 4.5V 模拟信号（LME/LDE 系列）可用作输出信号。 还可以通过数字输出查询集成温度传感器的值。 在制造过程中，低压传感器单独进行线性化、校准和温度补偿。 这意味着不需要额外的电路，例如补偿网络。
AMSYS 提供 0.. 25 Pa 至 0.. 50 mbar 范围内的微流量压力传感器 LDE/LME/LMI，或者 ±25 Pa 至 ±50 mbar 的双向版本