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IMS5400-DS白光干涉仪用于纳米级精度的绝对距离测量。与传统的干涉仪不同，IMS5400-DS还能稳定测量阶梯轮廓。该控制器具有智能评估功能，能够在相对较大的基底距离上实现纳米级精度的绝对测量。与其他绝对测量光学系统相比，IMS5400-DS在精度、测量范围和基准距离方面具有无可比拟的优势。通过对透明物体的多峰距离测量，可以同时评估多达14个距离值。例如，这可以确定玻璃和载板之间的距离。此外，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。