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IMS5400-TH白光干涉仪用于从相对较大的距离进行高精度的厚度测量。一个决定性的优势是与距离无关的测量，在这种情况下，即使有移动的物体，也能实现纳米级精确的厚度值。大的厚度测量范围可以测量薄层、平板玻璃和薄膜。由于白光干涉仪与近红外范围内的SLED一起工作，所以也可以测量防反射涂层玻璃的厚度。