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IMS5600-DS白光干涉仪可用于高精度的位移和距离测量。该系统提供绝对测量值，因此也可用于台阶轮廓的距离测量。由于绝对测量，阶梯的扫描是以高信号稳定性进行的。在测量移动物体时，肩部、台阶和凹槽的高度差可以被可靠地检测出来。该测量系统提供了亚纳米级的分辨率，同时相对于测量范围有较大的基础距离。通过对透明物体进行多峰距离测量，可同时评估多达14个距离值。例如，这允许确定玻璃和载板之间的距离。此外，控制器可以根据距离值计算出玻璃厚度。